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          江西通博国际真空泵維修有限公司

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          產品詳情

          ULVAC愛發科LR1800干式真空泵維修

          愛發科真空泵維修

          • 產品型號︰台
          • 產品規格︰LR1800
          • 產品品牌︰ULVAC愛發科
          • certification-photo1
          產品優勢

          ULVAC愛發科LR1800干式真空泵維修 干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術,有效利用壓縮熱,實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以最多減少約80%的用電量。另外,提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音,全機種都能適用

          產品詳情

          ULVAC愛發科LR1800干式真空泵維修

          干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術,有效利用壓縮熱,實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以最多減少約80%的用電量。另外,提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音,全機種都能適用。關于CEO-SHOCK的詳細信息

          特點

          LR Series:低溫領域均熱化

          針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間

          HR Series/UR Series:高溫領域均熱化

          CVD、蝕刻法等發生時,升華性排氣物質的可以以氣體狀態排出

          1000msec以內的瞬停對策

          可以對應CE

          用途

          活性氣體(CVD、干腐蝕等)

          惰性氣體排氣(濺射、蒸著、熱處理等)

          排氣時間縮短(LR Series)

          粉體發生時的過程排氣(Si單結晶提高等)

          輔助排氣泵(漩渦分子泵、機械泵的輔助排氣)